发表了日志： 大尺寸部件安装精度测量的解决方案

发表了主题帖： 自动化生产中的精密几何量测量：三坐标测量机的应用

工业4.0背景下，制造业对高效、精确测量的需求日益增加。特别对于自动化生产线的高效运行，依赖于对产品质量的严格监控。三坐标测量机作为一种关键的精密测量设备，通过结合自动化技术——全自动化三坐标测量站，实现了测量过程的全自动化，节约了人力成本，大幅提高了测量效率，为现代制造业的精益生产和质量控制提供重要保障。 全自动化三坐标测量站通过自动上下料、自动测量、自动分类以及测量统计数据可视化，实现了测量过程的全自动化，大幅提高测量效率，并节约人力成本。 三坐标测量机是测量站的核心设备。它通过探针在X、Y、Z三个坐标轴上的移动，精确测量物体的几何尺寸和形状。中图仪器三坐标测量机配备高精度传感器和先进的控制系统，能够实现微米级的测量精度。 自动上下料系统通过机械手臂，将待测工件自动传送至测量机的工作台上，并在测量完成后将工件移出。这种系统不仅减少了人工操作的时间和误差，还能实现24小时不间断运行，提高了测量效率。 中图仪器全自动化三坐标测量站 结合三坐标测量机的精确测量功能和预设的测量程序，能够自动完成测量任务。通过预先编写的测量程序，系统可以按照设定的路径和顺序进行测量，确保每次测量的一致性和可靠性。 测量数据的收集和分析是全自动化三坐标测量站的重要功能之一。数据可视化系统能够将测量结果实时展示在屏幕上，并生成各种统计报表。这不仅方便操作人员对测量过程进行监控和调整，还为质量控制和生产优化提供了有力的数据支持。 全自动化三坐标测量站的优势 1、提高测量效率 通过自动上下料和自动测量系统，全自动化三坐标测量站可以实现24小时连续工作，大幅缩短了单件工件的测量时间，从而提高了整体生产效率。 2、节约人力成本 自动化系统的引入减少了对人工操作的依赖，降低了人力成本。特别是在需要大量测量的生产环境中。同时，减少人工干预也降低了人为误差的可能性，提高了测量结果的准确性和一致性。 3、数据准确性和可追溯性 全自动化三坐标测量站能够提供高精度的测量数据，并将数据实时记录和存储。这不仅确保了测量结果的准确性，还为后续的质量分析和生产改进提供了详细的数据支持，实现了全流程的可追溯性。 4、适应多品种小批量生产 现代制造业中，全自动化三坐标测量站具有高度的灵活性和适应性，能够快速切换测量任务，满足不同产品的测量需求。这对于提升生产线的柔性和应变能力具有重要意义。 应用 全自动化三坐标测量站在航空航天、汽车制造、电子产品等领域具有广泛应用。在这些行业中，产品的精度和质量要求高，全自动化三坐标测量站的高效测量能力和数据可视化功能，为企业提高产品质量、优化生产流程提供了强有力的技术支持。

发表了主题帖： 三维轮廓仪测粗糙度：光学3D表面轮廓仪功能详解

在精密制造领域，表面粗糙度的测量是确保产品质量的关键步骤。光学3D表面轮廓仪为这一需求提供了解决方案。 在半导体制造、3C电子、光学加工等高精度行业，表面粗糙度的测量精度直接影响到产品的性能和可靠性。SuperView W系列光学3D表面轮廓仪正是为了满足这一需求而设计的。 产品特点 SuperView W系列光学3D表面轮廓仪采用了白光干涉技术，结合精密Z向扫描模块和3D建模算法，能够对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级的测量。这种非接触式的扫描方式不仅避免了对被测物体的损伤，还提供了高测量精度和重复性。 测量原理 该系列轮廓仪的工作原理基于光学干涉技术，通过白光LED作为光源，对被测物体表面进行照射。由于白光具有宽广的光谱，能够提供更高的测量精度和分辨率。通过精密的Z向扫描，设备能够捕捉到物体表面的微观形貌，并利用3D建模算法重建出物体的3D图像。 应用领域 SuperView W系列光学3D表面轮廓仪的应用领域非常广泛，包括但不限于半导体制造、3C电子产品的玻璃屏、光学元件的曲率和轮廓尺寸测量、超精密加工、微纳材料制造、汽车零部件以及航空航天和科研院所的研究工作。 性能特色 1. 高精度与高重复性：采用的光学干涉技术和精密Z向扫描模块，确保了测量的高精度。 2. 环境噪声检测功能：能够定量评估外界环境对测量的干扰，为设备调试和故障排查提供数据支持。 3. 精密操纵手柄：集成了X、Y、Z三个方向的位移调整功能，使得测量前的准备工作更加快捷。 4. 双重防撞保护措施：软件和硬件双重保护，最大限度降低操作风险。 5. 双通道气浮隔振系统：提供了稳定的工作环境，即使在没有外接气源的情况下也能正常工作。 技术指标 SuperView W系列提供了多种型号，以满足不同用户的需求。它们的技术指标包括但不限于光源、影像系统、干涉物镜、光学ZOOM、标准视场、物镜塔台、XY位移平台等，均以高标准设计，确保测量结果的准确性和可靠性。 光学3D表面轮廓仪以其高精度、高重复性和强大的功能，为精密制造业提供了一个可靠的测量工具。无论是在科研还是在工业生产中，它都能帮助用户获得精确的表面粗糙度数据，从而提升产品质量，满足日益严格的行业标准。

发表了主题帖： 三坐标测量机：柔性生产制造中的高精度测量解决方案

柔性生产制造是制造业的核心竞争力之一。它强调生产线的灵活性和适应性，以满足市场对产品多样化和个性化的需求。在当今快速变化的工业环境中，随着消费者对产品个性化和定制化需求的增加，柔性生产制造和三坐标测量机的结合，为智能制造提供了一种新的解决方案。 柔性生产制造的核心优势 1. 快速产品切换：生产线能够迅速从一种产品的生产转换到另一种，减少了因换模而造成的停机时间。 2. 多品种生产能力：能够同时生产多种不同规格和设计的产品，满足市场多样化的需求。 3. 成本效益：通过减少库存和提高生产效率，降低了生产成本。 三坐标测量机的关键作用 1. 高精度测量：确保产品尺寸和形状的精确度，满足严格的质量标准。 2. 自动化和集成：与生产线自动化系统集成，实现测量过程的自动化，提高效率。 3. 数据驱动的决策：提供精确的测量数据，支持生产过程中的数据分析和决策制定。 现代制造业中，三坐标测量机结合自动化技术——全自动化三坐标测量站，实现测量过程的全自动化。 全自动化三坐标测量站具有高度的灵活性和适应性，能够快速切换测量任务，满足不同产品的测量需求。这对于提升生产线的柔性和应变能力具有重要意义。 两者结合的创新应用 随着工业4.0和智能制造的推进，柔性生产制造将更依赖于高精度的测量和检测技术。而三坐标测量机结合自动化技术可以构建一个高度自动化和智能化的柔性生产制造系统。这种系统能够快速响应市场变化，根据客户需求的变化，迅速调整生产策略；自动化测量和检测流程，减少人工干预，提高了生产效率。

发表了主题帖： AI影像测量技术与智能化生产线的融合

AI影像测量技术与与智能化生产线的融合，是提升生产效率和产品质量的关键因素。 AI影像测量技术利用机器视觉和深度学习算法，实现对目标特征的快速、准确识别和测量。使得测量过程实现智能化、无人化，从而解决了传统测量方法中存在的人为因素干扰、效率低下和成本高昂等问题。 AI影像测量优势 高效率：单个工件的单次测量时间大幅缩短，如单个工件的单次测量时间从131秒缩短至28秒，效率提升4.5倍。 高精度：通过深度学习算法，AI能够准确识别并测量微小的特征，减少误差。如重复性大于0.02mm的尺寸占比降低81%，测量数据更稳定，重复性更佳。 高稳定性：AI测量技术减少了人为操作的不确定性，提高了测量数据的稳定性和一致性。 智能化生产线：AI影像测量技术的应用场景 AI影像测量技术与智能化生产线的融合，不仅提高了生产效率和产品质量，而且为企业带来了更高的市场竞争力。影像测量AI自动寻边技术，可以大幅提高测量效率，助力企业打造自动化、无人化、智能化生产线。 1、新能源行业：在电池后盖边缘特征测量中，AI技术能够排除多层边界干扰，即使在对比度低的情况下也能准确识别目标边缘。 2、3C行业：对于手机中框边缘线的不规则测量，AI技术能够自动排除边界干扰，提取正确位置。 3、金属加工：在金属边边界模糊不清的情况下，AI技术能够自动过滤毛刺干扰，准确提取边界。 4、塑胶件制造：对于黑色塑胶件上圆柱特征形态不一的测量，AI技术能够实现精确稳定的提取。 通过AI自动寻边技术，生产线能够实现自动化、无人化的操作，减少人为错误，提高生产效率和产品质量。这种技术的应用，不仅降低了人力成本，而且提升了企业的市场竞争力。 随着技术的不断进步，AI影像测量技术将更加成熟和普及。它将与更多的智能制造技术相结合，如机器人技术、物联网(IoT)、大数据分析等，形成一个高度集成的智能制造生态系统。未来的生产线将更加智能，能够自我优化和调整，以适应不断变化的生产需求和市场环境。

发表了主题帖： 微观特征轮廓尺寸测量：光学3D轮廓仪、共焦显微镜与台阶仪的应用

随着科技进步，显微测量仪器以满足日益增长的微观尺寸测量需求而不断发展进步。多种高精度测量仪器被用于微观尺寸的测量，其中包括光学3D表面轮廓仪（白光干涉仪）、共聚焦显微镜和台阶仪。有效评估材料表面的微观结构和形貌，从而指导生产过程、优化产品性能。 光学3D表面轮廓仪（白光干涉仪） 光学3D表面轮廓仪是一种利用白光干涉原理进行非接触式测量的高精度仪器。它通过分析反射光的干涉模式来重建表面的三维形貌。 非接触无损测量，超高纵向分辨率，测量从光滑到粗糙等各种精细器件表面。测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括： 表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）； 几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。 光学3D表面轮廓仪广泛应用于对器件表面质量要求超高的光学加工、半导体制造与封装、超精密加工、3C产业链等，同时在航空航天、国防工业以及科学研究等领域也存在普遍使用。它能以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。   共聚焦显微镜 共聚焦显微镜以共轭共焦技术为基础研制而成的用于样品表面3D微观形貌检测的精密光学仪器。 非接触式无损检测方式，复杂结构的大角度形貌测量能力，优异的横向分辨率，低反射率表面的适应性强。 共聚焦显微镜广泛应用于对器件表面质量要求非常高的光伏太阳能、半导体封装、激光加工、光学膜材、3C产业链等高端制造业，同时在航空航天、国防工业以及科学研究等领域也存在普遍使用。 台阶仪 台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，主要用于台阶高、膜层厚度、粗糙度等微观形貌参数的测量。 台阶仪应用场景适应性，广泛用于半导体、太阳能光伏、光学加工、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位，对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求。 在实际应用中，选择合适的测量仪器需要综合考虑样品的性质、测量需求和精度要求。通过合理利用这些先进的测量技术，可以有效提升微观特征轮廓尺寸测量的准确性和可靠性，为科研和工业生产提供坚实的基础。

发表了主题帖： 晶圆几何量测系统支持半导体制造工艺量测，保障晶圆制造工艺质量

晶圆面型参数厚度、TTV、BOW、Warp、表面粗糙度、膜厚、等是芯片制造工艺必须考虑的几何形貌参数。其中TTV、BOW、Warp三个参数反映了半导体晶圆的平面度和厚度均匀性，对于芯片制造过程中的多个关键工艺质量有直接影响。 TTV、BOW、WARP对晶圆制造工艺的影响 对化学机械抛光工艺的影响：抛光不均匀，可能会导致CMP过程中的不均匀抛光，从而造成表面粗糙和残留应力。 对薄膜沉积工艺的影响：凸凹不平的晶圆在沉积过程中会导致沉积薄膜厚度的不均匀，影响随后的光刻和蚀刻过程中创建电路图案的精度。 对光刻工艺的影响：影响聚焦；不平整的晶圆，在光刻过程中，会导致光刻焦点深度变化，从而影响光刻图案的质量。 对晶圆装载工艺的影响：在自动装载过程中，凸凹的晶圆容易损坏。如碳化硅衬底加工过程中，一般还会在切割工艺时留有余量，以便在后续研磨抛光过程中减小TTV、BOW、Warp的数值。 TTV、BOW、Warp的区别 TTV描述晶圆的厚度变化，不量测晶圆的弯曲或翘曲；BOW度量晶圆弯曲程度，主要度量考虑中心点与边缘的弯曲；Warp更全面，度量整个晶圆表面的弯曲和翘曲。尽管这三个参数都与晶圆的几何特性有关，但量测的关注点各有不同，对半导体制程和晶圆处理的影响也有所区别。   晶圆几何量测系统功能及应用方向 WD4000晶圆几何量测系统可自动测量Wafer厚度、弯曲度、翘曲度、粗糙度、膜厚 、外延厚度等参数。该系统可用于测量不同大小、不同材料、不同厚度晶圆的几何参数;晶圆材质如碳化硅、蓝宝石、氮化镓、硅、玻璃片等。它是以下测量技术的组合： 1、光谱共焦技术测量Wafer Thickness 、TTV 、LTV 、BOW 、WARP 、TIR 、SORI 等参数，同时生成Mapping图；  2、三维轮廓测量技术：对Wafer表面进行光学扫描同时建立表面3D层析图像，高效分析晶圆表面形貌、粗糙度、测量镭射槽深宽等形貌参数； 3、白光干涉光谱分析仪，可通过数值七点相移算法计算，以亚纳米分辨率测量晶圆表面的局部高度，并实现膜厚测量功能； 4、红外传感器发出的探测光在 Wafer不同表面反射并形成干涉，由此计算出两表面间的距离（即厚度），适用于测量外延片、键合晶圆几何参数。 5、CCD定位巡航功能，具备Mark定位，及图案晶圆避障功能。 WD4000无图晶圆几何量测系统已广泛应用于衬底制造、外延制造、晶圆制造、晶圆减薄设备、晶圆抛光设备、及封装减薄工艺段的量测；覆盖半导体前道、中道、后道整条工艺线。该系统不仅广泛应用于半导体行业，在3C电子玻璃屏、光学加工、显示面板、光伏、等超精密加工行业也大幅铺开应用。 量测系统自动上下料，自动测量 测量报告分享

发表了主题帖： 从0.1nm到1mm：显微测量仪在抛光至粗糙表面测量中的技术突破

显微测量仪是纳米级精度的表面粗糙度测量技术。它利用光学、电子或机械原理对微小尺寸或表面特征进行测量，能够提供纳米级甚至更高级别的测量精度，这对于许多科学和工业应用至关重要。 在抛光至粗糙表面测量中，显微测量仪器具有从0.1nm到1mm的测量范围，每种仪器都有其独特的功能和应用范围。 三种不同显微测量技术在测量表面粗糙度方面的优势详解 一、光学3D表面轮廓仪 工作原理： 1.光源与分光：仪器的光源发出的光束首先通过扩束准直，然后通过分光棱镜分成两束光。一束光直接投射到被测表面，另一束光则投射到参考镜上。 2.反射与干涉：从被测表面反射回来的光束与从参考镜反射回来的光束在分光棱镜处汇聚，由于两束光在不同的路径上行进，它们之间存在光程差。当两束光的光程差为半波长的整数倍时，它们会发生干涉，形成明暗相间的干涉条纹。 3.成像与分析：光学3D表面轮廓仪将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号。通过测量这些干涉条纹的变化，可以推算出被测表面的三维形貌。系统软件对这些数据进行处理和分析，从而得到表面的粗糙度、台阶高度、几何轮廓等参数。 测量能力： 1.粗糙度测量范围：光学3D表面轮廓仪能够测量从超光滑表面（0.1nm粗糙度）到相对粗糙表面（1mm粗糙度）的三维形貌。 2.垂直分辨率：光学3D表面轮廓仪可以达到0.1nm的垂直分辨率，这对于测量光滑表面的微小高度变化至关重要。 3.水平分辨率：水平分辨率取决于仪器的扫描范围和传感器的像素大小，它决定了可以测量的最小特征尺寸。 4.速度：光学3D表面轮廓仪视图与分析工具同框设计，实现分析过程的所见即所得，大大缩减了操作时间；且批量测量样品时，无需精确对焦，即可一键完成测量分析，有效提高生产效率。光学3D表面轮廓仪可加装高速扫描模块W-Ultra，在0.1nm分辨率下，其扫描速度提升到原机型的4倍以上。 5.非接触式测量：非接触式测量方式不会对样品表面造成损伤，这对于易损或敏感材料非常重要。 在纳米级表面粗糙度分析中的测量优势： 光学3D表面轮廓仪的特殊光源模式可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。 在纳米级表面粗糙度分析中，光学3D表面轮廓仪能够测量从超光滑表面到相对粗糙表面的三维形貌，覆盖从0.1nm到1mm的粗糙度范围。 二、共聚焦显微镜 工作原理： 1.点光源和点探测：显微镜使用一个照明针孔来产生点光源，这个点光源照射到样品上，然后样品上的特定点反射的光通过另一个探测针孔被探测器捕获。 2.共焦平面：照明针孔和探测针孔是共轭的，这意味着只有处于共焦平面上的点才能被探测器接收，而平面外的光则被针孔阻挡，从而抑制了背景噪声。 3.逐点扫描：样品通过载物台在X、Y轴方向上移动，而光束在Z轴方向上扫描，从而获得样品表面的三维形貌。 4.图像重建：通过计算机软件，将逐点收集的数据重建为样品表面的三维图像。 测量能力： 1.粗糙度范围：从0.1nm到1mm不同粗糙度的表面，都能测量。 2.纳米级分辨率：共聚焦显微镜可以达到0.1nm的垂直分辨率，这对于观察和测量极微小的表面特征非常有用。 3.高对比度成像：由于共聚焦显微镜抑制了焦平面外的光，具有很强的纵向深度的分辨能力。它所展示的图像形态细节更清晰更微细，能够提供色彩斑斓的真彩图像便于观察。 4.适应性：共聚焦显微镜适用于各种不同类型的材料，包括金属、陶瓷、聚合物等。在工业制造中的应用包括但不限于质量控制、材料特性分析、缺陷检测、表面处理效果评估等。 5.自动化和软件分析：现代共聚焦显微镜通常配备有自动化扫描系统和软件分析工具，可以进行快速、准确的测量和数据分析。 在纳米级表面粗糙度分析中的测量优势： 由于使用了点光源和点探测，共聚焦显微镜具有比传统显微镜更高的轴向（Z轴）分辨率。 共聚焦显微镜具有复杂结构大角度形貌的测量能力，能够测量倾斜角近乎90度的漫反射斜坡面形貌，尤其擅长大坡度、低反射率的粗糙表面形貌测量。 三、台阶仪 工作原理： 1. 探针接触式测量：测量时通过使用2μm半径的金刚石针尖在超精密位移台移动样品时扫描其表面，通过探针的垂直移动来测量表面的高度变化。 2.精密位移平台：样品或探针安装在精密的位移平台上，该平台可以在X、Y轴方向上进行精确移动，以扫描样品表面。 3.传感器反馈：测针的垂直位移距离被转换为与特征尺寸相匹配的电信号并最终转换为数字点云信号。 4.数据采集：随着位移平台的移动，数据点云信号在分析软件中呈现为扫描轨迹的轮廓曲线，从而获得表面轮廓的精确信息。 5.计算机处理：采集到的数据通过不同的分析工具进行处理和分析，从而获取相应的台阶高或粗糙度等有关表面质量的数据，具备3D扫描和成像显示功能。 测量能力： 1.表面粗糙度分析：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等数十项参数。 2.台阶高度与薄膜测量范围：能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度。最小至8nm的台阶高标准块的测量能力，以及台阶测量精度（0.3%）和重复性（0.05%），奠定了台阶仪在微纳米台阶与膜厚快速测量领域绝对的实力。 3.小尺寸特征测量：台阶仪能够测量非常小的特征尺寸，这对于微电子和微机电系统（MEMS）等领域非常重要。 4.适应性：具有很强的应用场景适应性，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位。 在纳米级表面粗糙度分析中的测量优势： 具备透光性的薄膜，光学仪器无法测量获取准确的膜厚数值，而台阶仪测量膜厚不受基材透射率影响，规避光学仪器的弱点。   选择合适的测量技术，取决于包括被测材料的特性、所需的测量精度、测量范围、表面特性以及预算等因素。在某些情况下，也可能需要结合使用多种测量技术，以获得最全面和准确的测量结果。

发表了主题帖： 三坐标测量机在汽车零部件质量控制中的应用

汽车行业中三坐标测量机的质量提升作用解析 高质量的零部件能够确保汽车的性能达到设计标准，包括动力性能、燃油效率、操控稳定性等，从而提供更好的驾驶体验，建立消费者对汽车品牌的信任；也推动了汽车行业的技术创新，制造商不断研发新材料、新工艺，以提高产品的性能和质量。 在汽车行业中，三坐标测量机是如何帮助提高汽车零部件质量的？ 三坐标测量机在汽车行业中，通过高精度的测量技术，对汽车零部件的尺寸和形状进行精确的检测，从而帮助提高汽车零部件的质量。具体体现在以下几个方面： 1、高精度测量 三坐标测量机采用的测量技术和精密的传感器，结合精密的机械结构和温度补偿系统，每一次测量都能达到微米级精度，提供高精度的测量结果。这种高精度的测量确保了汽车零部件尺寸和形状的精确度，从而提高了整体的制造质量。 2、全面检测 三坐标测量机能够对汽车零部件的点、线、面等基本元素的特征和相互关系进行准确测量，包括空间位置尺寸以及相关尺寸的形状位置公差等。 （1）尺寸测量 三坐标测量机能够快速、准确地测量各种复杂零件的尺寸，包括点、线、圆、面、球、弧、椭圆、圆柱、圆锥、键 槽等。使产品的尺寸精度符合设计要求。 （2）形位公差检测 三坐标测量机可以检测直线度、平面度、圆度、圆柱度、 圆锥度、球度、距离、夹角、垂直度、平行度、倾斜度、位置度（2D及3D）、对称度、同轴度、 同心度等各种形位公差，及时发现并纠正零件的制造误差，提高产品质量。 （3）曲面测量 对于复杂曲面零件，如模具、叶轮等，三坐标测量机同样能够实现高精度的测量。这有助于汽车车身的设计严密性，推动尺寸精度的发展，提高汽车车身的质量。 3、技术支持与改进 对于检测不合格的产品，三坐标测量机提供详细的数据分析，可以根据这些数据在工艺、工装、机床等方面进行改进，直到加工出合格的产品，从而提高产品质量。 三坐标测量机在汽车制造中有哪些具体的应用案例？ 1、汽车零部件的尺寸精度检测：例如发动机部件、底盘和车身轮廓等。 2、汽车发动机的质量控制：在汽车生产线上抽查检测，确保每个零件及其安装工艺符合标准，包括对已加工的个体零部件进行随机检测；或是发动机和传动系统中的精密部件，如齿轮、轴承等，需要高精度的测量来确保其性能和可靠性，三坐标测量机可以提供这些部件的精确尺寸和形状数据。 3、汽车车身制造中的检测：在车身制造过程中，三坐标测量机可仪测量钣金件等复杂零部件的尺寸和形状，以及对汽车其它部分的零部件进行精密测量，尤其是在复杂几何形状的工件上。对于车身的焊接件和分总成，三坐标测量机可以进行批量生产时的质量控制和统计分析报告，以保证车身的结构强度和安全性。 4、发动机和传动系统部件检测：发动机和传动系统中的精密部件，如齿轮、轴承等，需要高精度的测量来确保其性能和可靠性。三坐标测量机可以提供这些部件的精确尺寸和形状数据。 5、模具制造与检测：三坐标测量机可以用来检测模具的尺寸精度和形状；对于冲压件和塑料件等，通过精确的尺寸测量和形状分析，保证零件的尺寸和形状与设计图纸一致。 6、逆向工程： 在汽车零部件的逆向工程中，三坐标测量机可以用来测量现有部件的尺寸和形状，为设计新部件提供准确的数据支持。 7、柔性在线控制：三坐标测量机在柔性制造系统中可以与自动化设备相结合，实现对生产过程的柔性控制，提高生产灵活性和响应速度。 除了三坐标测量机，还有哪些测量工具或技术可以用于提高汽车零部件的质量？ 1、激光跟踪仪：利用激光技术进行空间坐标的测量，适用于大型组件的全域高精度空间坐标和空间姿态的测量问题。 2、影像测量仪：通过光学成像技术进行二维或三维测量，适用于精密工程领域。 3、表面粗糙度测量仪：用于测量零部件表面的微观几何特征，如齿轮、凸轮的轮廓形状，对于控制摩擦和磨损有重要作用。 这些工具和技术可以单独使用，也可以结合使用，以适应不同的测量需求和提高测量的准确性和效率。通过综合运用这些测量工具和技术，相信汽车制造商能够确保零部件的质量，从而提高整车的性能和可靠性。

发表了主题帖： 高精度、高重复性国产三坐标测量机，精密制造的质量守护者

企业要在当今竞争激烈的全球市场中保持竞争力，就必须要不断提高产品质量、缩短生产周期并降低成本。在这一背景下，三坐标测量机（CMM）作为精密制造领域的关键技术，正变得越来越重要。它不仅是一种测量工具，更是质量控制和工艺优化的关键技术手段。 高精度：精密制造的核心 中图仪器三坐标测量机采用的测量技术和精密的传感器，结合精密的机械结构和温度补偿系统，精度高、重复性优。不管是复杂的三维形状还是细微的尺寸差异，每一次测量都能达到微米级精度，实现对产品质量的严格把控。 这种高精度的实现，依赖于以下几个关键因素： 1、精密的光栅系统：采用高分辨率金属光栅尺，确保机器在使用过程中具有高精度和长时间的稳定性。 2、高精度测头：接触式或非接触式测头均经过精确校准，以捕捉细微的几何特征。 3、测量分析软件：PowerDMIS三坐标测量软件是中图仪器自主研发，拥有自主可控的核心技术。该软件支持DMIS与I++标准协议，并通过了德国PTB最小二乘法和最小区域法的双认证。 高重复性：持续稳定的质量保障 在连续生产过程中，高重复性的三坐标测量机在连续测量过程中能够提供一致的结果，通过确保每次测量的准确性，帮助企业减少材料浪费和相关成本。 中图三坐标通过以下方式实现高重复性： 1、稳定的机械结构：关键部件一体铸造成型，结构紧凑、重量轻、强度高，运行更为快速平稳。 2、精确的控制系统：全闭环直流伺服电机驱动控制技术，具有优异的伺服跟随控制能力；微秒级速度前瞻轨迹规划算法，实现高效平滑运动和高空间运动重复性。 3、校准和维护：定期的校准和专业维护确保设备长期保持最佳状态。 国产化品牌：创新与成本效益的平衡 国产化品牌的三坐标测量机在打破国外技术垄断的同时，本地化生产和供应链管理降低了生产和运营成本，使产品价格更具竞争力，而且性能同样可靠，提供了高性价比的选择。由于不同行业和领域的测量需求各不相同，国产三坐标测量机功能的研发和应用也可以根据具体情况进行定制和改进，国产品牌也能够更快地响应客户需求，提供及时的售后服务。 以更经济的价格获得高性能的测量设备，同时减少长期的维护和运营开支。 三坐标测量机作为精密制造的基石，其高精度和高重复性是确保产品质量的关键。国产品牌能够更快地响应市场变化，让我们一起携手，开创制造业的新篇章，迎接高质量发展的新时代。

发表了主题帖： 显微成像与精密测量：共聚焦、光学显微镜与测量显微镜的区分

共聚焦显微镜介绍 共聚焦显微镜是一种光学显微镜。它结合了光学成像技术和计算机处理，能够提供高分辨率的二维图像以及三维图像重构。 共聚焦显微镜的工作原理基于“共聚焦”概念，即只有处于物镜焦平面上的点才能清晰成像，而焦平面以外点的成像则被排除掉。这是通过使用特殊的光学系统，如共聚焦孔径（pinhole）实现的。在共聚焦显微镜中，光源（通常是激光）照射在样品上，然后收集从样品反射或发出的光。只有来自焦平面的光能够通过共聚焦孔径，而其他位置的光则被阻挡，从而生成非常清晰的焦平面图像。 此外，共聚焦显微镜能够通过逐层扫描样品并收集每一层的图像数据，然后利用这些数据重建成样品的三维形貌。这种逐层扫描的方式提供了比传统光学显微镜更高的分辨率，尤其是在样品的垂直方向上。 共聚焦显微镜也可以被称为测量显微镜。在它用于精确测量样品的尺寸、形状、表面粗糙度或其他物理特性时，能够提供非常精确的三维形貌图像，这使得它成为测量样品表面特征的强大工具。在材料科学和半导体工业等多个领域中都有广泛的应用，特别是在需要高分辨率和三维成像能力的情况下。测量特点如下： 1、高精度测量：共聚焦显微镜能够提供纳米级别的分辨率，使其能够测量非常微小的样品特征。 2、三维形貌：通过在不同深度层面上扫描样品，共聚焦显微镜能够生成样品的三维图像，这对于分析样品的立体结构非常有用。 3、表面粗糙度分析：共聚焦显微镜可以精确测量和分析样品表面的粗糙度。它具有很强的纵向深度的分辨能力，能够清晰地展示微小物体的图像形态细节，显示出精细的细节图像，对大坡度的产品有更好的成像效果。这对于材料科学和工程应用非常重要。   4、非破坏性测量：作为一种光学技术，共聚焦显微镜允许在不接触或不破坏样品的情况下进行测量。 5、软件分析工具：现代共聚焦显微镜通常配备有专门的软件，可以进行各种测量和分析，如距离、体积、形状和纹理分析。 6、适用于多种材料：共聚焦显微镜可以用于测量各种不同类型的材料，包括金属、塑料和半导体材料。 共聚焦、光学显微镜与测量显微镜的区别 “共聚焦显微镜”、“测量显微镜”和“光学显微镜”这三个名称描述的是显微镜技术及其应用的不同方面。 光学显微镜：这是一类利用光学原理成像的显微镜，通过透镜系统放大样品的图像。光学显微镜是显微镜的基础类别，包括了传统的明场、暗场、相差显微镜等，它们主要依赖于可见光来进行样品的观察和成像。 共聚焦显微镜：共聚焦显微镜是光学显微镜的一个子类别，它使用一种特殊的成像技术，通过空间选择性地只收集样品焦平面上的光，从而获得比传统光学显微镜更高的分辨率和更清晰的图像。共聚焦显微镜能够进行二维和三维成像，是光学显微镜技术中较为先进的一种。 测量显微镜：这是一种用途上的分类，指的是用于精确测量样品尺寸、形状、表面粗糙度等物理特性的显微镜。测量显微镜可以是光学显微镜，也可以是电子显微镜或其他类型的显微镜，关键在于它们配备了用于测量的工具和功能。共聚焦显微镜因其高精度的三维成像能力，常被用作一种高级的测量显微镜。 简单来说，“光学显微镜”是一个广泛的概念，涵盖了所有利用光学原理进行成像的显微镜技术；“共聚焦显微镜”是光学显微镜中的一种特殊技术，提供高分辨率的成像；而“测量显微镜”则是根据显微镜的应用目的来命名的，它可以是任何类型的显微镜，只要它被用于测量样品的物理特性，共聚焦显微镜因其特性常被归类于此。这三种名称相互关联，但又各自强调了显微镜的不同属性或应用。

发表了主题帖： 台阶仪膜厚测量：工业与科研中的纳米级精度检测

台阶仪，也称为探针式轮廓仪或接触式表面轮廓测量仪，主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。 台阶仪的工作原理 台阶仪的核心部件是一个精密的触针或探针，它被安装在一个高度可调的支架上。当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面可能存在微小的峰谷，触针在滑行的同时会根据表面的起伏作上下运动。这些上下运动被转换为电信号，通过精密的传感器和数据采集系统记录下来。 台阶仪测量膜厚的原理 台阶仪测量膜厚的原理是基于台阶高度差的变化。具体操作时，台阶仪的探针会沿着薄膜表面移动，探针上的传感器会记录下探针在薄膜表面和基底表面的垂直位移变化，并通过数据处理系统转换成薄膜的厚度值，从而计算出薄膜厚度。 CP系列台阶仪采用LVDC电容传感器，具有亚埃级分辨率和超微测力特点。在测量测薄膜厚度方面，具有以下特点： 1）结合了360°旋转台的全电动载物台，能够快速定位到测量标志位； 2）对于批量样件，提供自定义多区域测量功能，实现一键多点位测量； 3）提供SPC统计分析功能，直观分析测量数值变化趋势； 台阶仪测量膜厚的优势 1、高精度 CP系列台阶仪出色的重复性和再现性，其分辨率可达纳米级别，完全满足被测件测量精度的要求。它采用了线性可变差动电容传感器LVDC，接触力非常小，具备超高的测量精度和测量重复性，亚埃级垂直分辨率适合各类材质、吸光特性的表面测量。 2、高效率 配备有高速数据采集和分析系统，采用超精细的运动控制、标定算法等核心技术，测量稳定、便捷、高效。 3、多样化的测量功能 除了测量膜厚，台阶仪还可以测量表面粗糙度、台阶高度等多种表面特性，具有很强的多功能性。 4、适应范围广 台阶仪样品适应面广，对测量表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求。 5、操作简单 台阶仪配备有用户友好的操作界面和强大的数据处理软件，操作简单。用户只需将探针放置在台阶上，仪器便会自动计算出薄膜的厚度，无需复杂的校准过程。 台阶仪在膜厚测量领域有其独特的优势，它不仅提供了高精度的测量结果，而且同时具备快速、多功能和易于操作的特点。随着技术的不断进步，台阶仪在材料科学和精密工程中的应用将会更加广泛，为薄膜材料的研究和质量控制提供强有力的支持。

发表了主题帖： 光栅测长机高精度检定量规量具

在制造业中，量规、量具等精密测量工具的准确性直接影响着产品质量和制造效率。为了确保这些测量工具的精准度，光栅测长机应运而生，成为了检定量规量具的利器。 光栅测长机是一种高精度的长度测量设备，它是利用光栅的精密刻度和光学原理，实现对检定量规量具的准确测量。 工作原理 光栅测长机的基本原理是通过光栅刻线和传感器相互作用，利用光的干涉现象来测量位移。它的核心部件是光栅尺，还包括一个发射器和一个接收器，发射器发出一束光，通过光栅的刻线形成干涉条纹，接收器则接收并分析这些条纹，从而计算出被测量具的长度。 优势特点 1、高精度：光栅测长机的测量精度通常可达到亚微米级别，可以满足大多数工业生产对尺寸精度的要求。 2、快速测量：光栅测长机测量过程快速高效，提高了生产率。 3、高稳定性：光栅尺不易受环境温度、湿度变化的影响，保证了测量结果的稳定性。 4、多功能性：光栅测长机不仅可以测量长度，还可以测量角度、形状等参数，检测各种高精密工件内外尺寸及高精度薄壁零件内外径尺寸等。 5、自动化程度高： 现代光栅测长机通常配备有自动化控制系统，实现自动测量和数据处理。针对校准、检定高等级量块、块规、光滑环规、针规及三针等需求。 6、可追溯性：测量结果可以追溯到国际长度标准，保证了量具检定的权威性。 在量规量具检定中的应用 通过将待检测的量规或量具放置在光栅测长机中，利用其高精度的测量能力，可以准确地测量出其尺寸参数，并与标准数值进行比对，从而判断其是否符合规定的精度要求。同时，光栅测长机还可以记录测量数据并生成报告，为质量管理提供了可靠的依据。 1.螺纹量规检定：光栅测长机可以测量螺纹量规的螺距和牙型误差。 2.齿轮测量：光栅测长机可以用于测量齿轮的齿距累积误差和单个齿距误差。 3.卡尺类量具检定：包括外径千分尺、内径千分尺等，光栅测长机可以精确测量卡尺的示值误差。 4.平面度量具检定：如平板、刀口尺等，光栅测长机可以测量其平面度误差。 5.角度量具检定：如角度规、角度块等，光栅测长机可以测量其角度误差。 光栅测长机高精度、高稳定性和自动化的特点，提高了产品质量和生产效率，在量规量具的检定工作中发挥着重要作用。未来的光栅测长机将追求更高的测量精度，以满足更严格的工业需求；将集成更多的智能化功能，以提高操作的便捷性和效率。

发表了主题帖： 激光共聚焦和白光干涉仪哪个好？

在精密测量领域，激光共聚焦显微镜和白光干涉仪是两种不同的高精度光学测量仪器。它们各自有着独特的应用优势和应用场景。选择哪种仪器更好，取决于具体的测量需求和样品特性。在选择适合特定应用的技术时，需要仔细考虑其特点和功能。 白光干涉仪 白光干涉仪是0.1nm纵向分辨率的光学3D轮廓仪，主要用于表面形貌的非接触式测量，能够提供纳米级分辨率的表面高度信息。它适合于测量光滑表面和具有高深宽比的结构，如半导体晶片、液晶产品、光纤产品等。 1、优点 高精度测量：能准确测量亚纳米级的超光滑表面。 非接触式测量：3D非接触式测量方式，不会对样品造成损伤，适合测量敏感或易损的表面。 高速度测量：测量速度快，能够在短时间内完成大面积样品的测量。 大视野：适用于大范围光滑样品的测量，尤其擅长亚纳米级超光滑表面的检测。 2、应用：半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。   激光共聚焦显微镜 激光共聚焦显微镜是具备3D真彩图像的纳米级光学轮廓仪。它利用激光的单色性和相干性，通过共聚焦的方式将激光束聚焦到样品上，具有非常高的分辨率和灵敏度，能够测量倾斜角近乎90度的漫反射斜坡面形貌，尤其擅长大坡度、低反射率的粗糙表面形貌测量。 1、优点 色彩斑斓的成像：提供色彩斑斓的真彩图像，便于观察和分析。 微纳级粗糙轮廓检测：擅长微纳级粗糙轮廓的检测，虽然在检测分辨率上略逊于白光干涉仪，但成像效果更佳。 逐点扫描：逐点扫描的方式，能够提供高分辨率的图像。 2、应用：半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。   在选择激光共聚焦显微镜还是白光干涉仪时，应考虑以下因素： 1、分辨率和成像深度：如果需要对样品进行深层三维成像，激光共聚焦可能是更好的选择。 2、测量类型：对于需要精确表面形貌测量的应用，白光干涉仪可能更加适合。 3、速度：白光干涉仪通常能提供更快的测量速度，适合于工业在线检测。 4、操作便利性：某些激光共聚焦系统可能需要专业的操作和分析软件，而白光干涉仪可能更易于操作。 总的来说，两种仪器各有千秋，选择时应基于测量需求、样品特性以及预算等因素综合考虑。 例如，你需要测量物体的表面形貌和光学性质，那么白光干涉仪可能更适合； 例如，在工业制造领域，通常选择白光干涉仪检测工件的表面平整度、粗糙度和光学性能等，从而确保产品质量； 例如，在材料研究领域，用白光干涉仪研究材料的光学性能和微观结构，为材料的设计和优化提供有力支持； 又或是在一些复杂的应用场景中，可能需要同时使用这两种仪器来获取更全面的信息。例如在材料科学领域，激光共聚焦显微镜可以用来观察材料的微观结构和形貌，而白光干涉仪则可以用来测量材料的光学性能和折射率等参数。通过这两种仪器的结合使用，可以更加深入地了解材料的性质和行为。 激光共聚焦和白光干涉仪都是非常重要的光学仪器，没有绝对的“好”或“坏”，它们各自具有独特的优点和应用场景。选择哪种仪器更好取决于具体的应用需求和工作环境。在做出选择之前，建议详细了解两种仪器的技术参数和适用范围，以及可能的测量误差和限制，以确保选择的仪器能够满足测量需求。

发表了主题帖： 影像仪测量优势

在工业制造领域，测量是确保产品质量和生产效率的关键步骤之一。 影像仪在工业测量中的优势 1、表面检测和缺陷检测的应用 影像仪能够通过高分辨率的相机和精密的镜头系统，实现对产品的高精度三维成像，提供高分辨率的图像，并且可以捕捉到更多细微的表面特征和缺陷。对于需要对产品表面进行详细检测和缺陷分析的情况，影像仪可能更为合适。 Novator影像仪可实现3D扫描成像和空间测量。VisionX测量软件支持多种轮廓测量和3D空间测量，无缝连接2D/3D混合测量。 2、形状复杂、不规则或非常大尺寸的产品 影像仪对于形状复杂、不规则或非常大尺寸的产品的适应性更强。由于影像仪可以提供整体的图像，并且不受产品形状的限制，因此在这些情况下可能更具优势。 3、多功能性和灵活性要求较高的应用 Novator影像仪配备有多种测量功能，具有多功能性和灵活性，测量元素包括长度、宽度、高度、孔距、间距、厚度、圆弧、直径、半径、槽、角度、R角等，这使得它能够适应多种测量需求，满足不同应用场景的需求。 4、定量分析以及对图像处理要求较高的应用 影像仪通常配备有图像处理和分析软件，能够实现对图像的定量分析和处理。对于需要进行复杂图像处理和定量分析的应用，影像仪可能更为合适。 Novator全自动影像仪多种测量新特性、新功能：结合传统影像与激光测量扫描技术，能实现2.5D和3D复合测量；支持频闪照明和飞拍功能，可进行高速测量，大幅提升测量效率；具有可独立升降和可更换RGB光源，可适应更多复杂工件表面。 随着工业制造技术的不断发展，影像仪作为一种高效、精准的测量工具，将在工业生产中扮演越来越重要的角色，为产品质量控制和生产效率提升提供强有力的支持。

发表了主题帖： 电子精密件测量首选闪测仪

在工业生产中，精密件的测量是至关重要的环节，它直接关系到产品的质量和性能。大部分3c电子工厂以及精密五金加工厂中，产品质检环节中大部分测量仪器都采用闪测仪。为什么呢？ 1. 测量精度与稳定性 闪测仪能够提供更高的测量精度和稳定性。VX系列闪测仪高分辨率镜头，1%亚像素图像处理，高精度算法分析；自动对焦，排除人为测量操作干扰，且重复聚焦一致性高；自动识别测量部位，每次都能获得统一稳定的测量结果。它能够精准捕捉到精密件的各种细微特征，并且不受环境光线的影像。随着技术创新和优化，闪测仪在测量精度和稳定性方面更是不断在进步。 2.快速测量与数据处理 闪测仪具有快速测量和数据处理的优势。它一键即可完成对精密件的测量，大大提高了生产效率。在工厂生产线上，时间是非常宝贵的资源。闪测仪具有快速的测量速度和自动化的功能，能够在短时间内完成大量产品的测量，提高生产效率。 3. 通用性和适用性 3C电子产品和精密五金制品的形状和材料多样，而闪测仪适用于多种不同形状和材料的产品测量，具有较强的通用性和适用性。 4. 用户友好性与操作简便 VX系列闪测仪注重用户体验，具有简洁直观的操作界面和人性化的功能设计。即使是没有专业技术背景的操作人员，也能够轻松上手，快速掌握设备的使用方法，提高了工作效率和准确度。 一键测量，多快好省 5. 定制化服务与售后支持 VX系列闪测仪供应商提供定制化服务和全面的售后支持，能够根据客户的特定需求定制产品配置和解决方案，并提供及时的技术支持和培训服务，确保客户能够充分发挥设备的性能优势。   闪测仪编程简单，工件可以任意摆放，批量测量效率更高，更适合大批量测量场景。所以对于3C电子精密件测量而言，闪测仪的优势更为突出。

发表了主题帖： 光学3D表面轮廓仪&共聚焦显微镜高精度高分辨率测量

新质生产力不仅仅是生产效率和成本控制的提升，更重要的是通过创新和技术升级，从而实现生产过程智能化、个性化、和高质量化。传统的生产模式正在被颠覆，而半导体行业作为高科技产业的代表之一，更是迫切需要适应这一变革。 随着半导体技术的不断发展和智能制造的推动，半导体制造过程中，对尺寸、形状和表面质量的检测至关重要。而显微测量仪的高精度、高分辨率的测量能力，为半导体行业提供了强大的支持。 SuperViewW光学3D表面轮廓仪结合机械制造、计算机技术、图像出处理技术，以非接触的扫描方式，实现针对样品表面的高重复精度的3D测量，获取样品表面质量的2D、3D数据。 仪器集合PSI高精度&VSI大范围双重优点的EPSI扫描算法，从0.1nm级别的超光滑表面到数十微米级别的粗糙表面，都能实现高精度测量。此外具有的同步分析与预编程分析功能，实现了分析过程的所见即所得，测量到分析的一键式操作，有效缩减操作步骤。 VT6000共聚焦显微镜以针孔共聚焦技术为原理，结合高稳定性结构设计和优异的3D重建算法，可对各种精密器件及材料表面进行微纳米级粗糙度、微观几何轮廓等的测量。在半导体制造及封装工艺检测中，对大倾角产品有更好的成像效果。   在芯片制造的各个环节，显微测量仪用于检测半导体芯片和晶圆的尺寸和形状，提供准确的尺寸测量，满足半导体制造过程中对尺寸、形状和表面质量更严格的要求，帮助制造商及时发现和纠正任何偏差；在表面质量的评估和缺陷检测方面，显微测量仪可以检测微小的表面缺陷和污染，确保产品的表面质量达到标准要求，提高产品的可靠性和稳定性。   我们有理由相信，在新技术和新思维的推动下，显微测量仪将使半导体行业迈向更加智能化、高效化和可持续化的未来。

发表了主题帖： 光学型轮廓仪测量光学镜片曲面

在现代光学工业中，精密光学元件的制作是一项重要任务。而粗糙度是影响光学曲面质量的重要因素之一。为确保光学元件的卓越性能，轮廓仪成为不可或缺的检测工具。它以其超高精度、全自动化、多功能性和数据分析的特点，实现非球面镜片的高精度专业检测，解读光学曲面的微妙变化。 光学镜片曲面测量难点 1、几何复杂性 光学镜片具有各种各样的几何形状，包括球面、非球面和自由曲面等。不同几何形状对测量方法和设备的要求各不相同，增加了测量的难度。 2、表面反射和折射 光学镜片曲面的高反射和折射特性会影响信号的传输和测量结果的准确性。需要采取适当的技术手段或选择合适的涂层材料来减小这些影响。 3、镜片尺寸和材料 大尺寸和特殊材料的光学镜片曲面测量更具挑战性。需要使用大型、高精度的测量设备，并制定相应的测量策略和方法。 传统的测量方法通常需要操作人员进行手动测量，不仅费时费力，而且容易受到人为因素的影响。而SJ5900光学型轮廓仪配备了高精度的传感器和智能化的软件，专业检测光学镜片曲面，实现自动化测量、数据分析，大大提高了测量的效率和一致性。自动化测量不仅可以减少人力投入，还能够避免由于人为操作而引起的误差。   直线度≤0.25μm/200mm，大范围形貌微观轮廓Pt≤0.3μm，测力最小0.5mN，无视微小凹凸、起伏，轻松应对复杂的曲率和曲面结构，准确检测微观轮廓参数、水平轴线夹角、光轴位置参数及顶点半径误差、斜率参数等。 非球面分析软件 光学型轮廓仪nm级高精密光学曲面测量。通过触针的微米级接触，可测量曲面的微小起伏，呈现曲面微观层面的特征，包括微小凸起、凹陷、微观坡度等。这种微观层面的分析为制造商提供了对光学元件性能的深入理解，有助于进一步提升生产工艺。 无论是球面、非球面，还是复杂曲面，都能够根据具体的光学元件要求进行定制化的测量，确保测量结果更加贴近实际应用场景。光学镜片制造是一项高度工艺化的过程，而轮廓仪的测量对于保障工艺一致性至关重要。

发表了主题帖： 半导体量测领域设备——无图晶圆几何量测系统

在晶圆制造前道过程的不同工艺阶段点，往往需要对wafer进行厚度（THK）、翘曲度（Warp）、膜厚、关键尺寸（CD）、套刻（Overlay）精度等量测，以及缺陷检测等；用于检测每一步工艺后wafer加工参数是否达到设计标准，以及缺陷阈值下限，从而进行工艺控制与良率管理。半导体前道量检测设备，要求精度高、效率高、重复性好，量检测设备一般会涉及光电探测、精密机械、电子与计算机技术，因此在半导体设备中，技术难度高。 在wafer基材加工阶段，从第一代硅，第二代砷化镓到第三代也是现阶段热门的碳化硅、氮化镓衬底都是通过晶锭切片、研磨、抛光后获得，每片衬底在各工艺后及出厂前，都要对厚度、翘曲度、弯曲度、粗糙度等几何形貌参数进行系统量测，需要相应的几何形貌量测设备。 下图为国内某头部碳化硅企业产品规范，无论是production wafer，research wafer，还是dummy wafer，出厂前均要对几何形貌参数进行量测，以保证同批、不同批次产品的一致性、稳定性，也能防止后序工艺由于wafer warpage过大，产生碎片、裂片的情况。 WD4000系列无图晶圆几何量测系统，适用于线切、研磨、抛光工艺后，进行wafer厚度（THK）、整体厚度变化（TTV）、翘曲度（Warp）、弯曲度（Bow）等相关几何形貌数据测量，能够提供Thickness map、LTV map、Top map、Bottom map等几何形貌图及系列参数，有效监测wafer形貌分布变化，从而及时管控与调整生产设备的工艺参数，确保wafer生产稳定且高效。    

发表了主题帖： 激光干涉仪80米直测，诊断校准运动导轨

在现代工业制造中，运动导轨作为精密设备的关键组件之一，其精密度和稳定性影响着设备的定位准确性和运动稳定性。为了保证导轨的高精度性能，激光干涉仪应运而生。 校准运动导轨的重要性 运动导轨的精度直接关系到整个设备的性能。在长时间运行和极端工况下，导轨可能会受到温度、振动等外部因素的影响，导致其性能逐渐偏离理想状态。通过激光干涉仪的诊断校准，可以及时发现并纠正这些偏差，确保导轨在高精度工作状态下运行。 实时诊断，精准校准 激光干涉仪除了能够提供高精度的测量数据，更重要的是其实时性。激光干涉仪采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出。通过精密的光学测量，可以迅速而准确地获取导轨的位移、倾斜和振动等关键参数，从而能够实时监测导轨的微小位移和形变，为后续的校准提供了精准的数据基础。 高效运行，降低生产成本 借助激光干涉仪进行诊断和校准，可以确保导轨的高效运行，减少因偏差而导致的生产故障。通过降低故障率，制造企业能够大幅降低维修和生产停工的成本，提高整体生产效益。 激光干涉仪诊断校准的步骤 1、数据采集 激光干涉仪工作时，通过精密的光学系统和高灵敏的探测器，可以实时采集导轨的位移、倾斜和振动等数据。这些数据将作为后续校准的基础。 2、数据分析 采集到的数据需要经过专业的分析处理。激光干涉仪通过高级算法，将原始数据转化为可视化的图形和数值，帮助工程师深入了解导轨的工作状态。 3、问题定位 通过数据分析，可以准确定位导轨存在的问题，例如位移不稳定、倾斜超标或振动异常等。这为后续的校准工作提供了具体的方向。 4、校准调整 根据问题定位的结果，工程师可以采取相应的校准调整措施。这可能涉及到机械结构的微调、传动系统的优化或者控制算法的调整等多个方面。 5、验证确认 校准调整完成后，激光干涉仪再次进行数据采集，验证导轨的性能是否得到了有效的改善。这一步骤确保了校准的准确性和可靠性。 激光干涉仪技术在制造业中的广泛应用 激光干涉仪非接触式、高精度的特点使其适用于各种复杂的运动系统，不仅仅局限于运动导轨，还可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。帮助企业提高设备性能，减少维护成本和停机时间，为制造业提供了一种精密的测量检测方式。