dgvud

    1. 如果是产品化多数用光栅。但是光栅精度其实顶多到um级别。 如果是搞研究,光栅的按照比较有局限,可以参考高精度的位移传感器。 市面上用的多的是激光位移传感器,但是对于精密控制来讲,激光位移传感器的线性度差了点。 还有种色散共焦位移计,线性度要远远高于激光位移传感器,绝对精度在几个nm到几个nm。做研究用还是很好的,光学非基础测量,想怎么架设都方便,另外他们有搞导轨的一些刚度实验室的,也有用这个来测量的。 色散共焦位移计可以查下思信科学仪器。

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