如果是产品化多数用光栅。但是光栅精度其实顶多到um级别。 如果是搞研究，光栅的按照比较有局限，可以参考高精度的位移传感器。 市面上用的多的是激光位移传感器，但是对于精密控制来讲，激光位移传感器的线性度差了点。 还有种色散共焦位移计，线性度要远远高于激光位移传感器，绝对精度在几个nm到几个nm。做研究用还是很好的，光学非基础测量，想怎么架设都方便，另外他们有搞导轨的一些刚度实验室的，也有用这个来测量的。 色散共焦位移计可以查下思信科学仪器。