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    1. 《MEMS System Design》高清书签完整英文版

      标签：MEMS

      《MEMS System Design》完整英文版 PDF 作者：James Allen 内容： Chapter 1. Introduction Chapter 2. Fabrication Processes Chapter 3. MEMS Technologies Chapter 4. Scaling Issues for MEMS Chapter 5. Design Realization Tools for MEMS Chapter 6. Electromechanics Chapter 7. Modeling and Design Chapter 8. MEMS Sensors and Actuators Chapter 9. Packaging Chapter 10. Reliability Appendices

      下载次数 47次 资源类型 技术文档 上传时间 2017-02-26

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