发表了日志： 图像尺寸测量仪：解析适用零部件与应用领域

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图像尺寸测量仪也叫一键测量仪器，全自动闪测仪等，是一种精密二次元测量仪器。它能够精确测量各种零部件的形状和尺寸，核心优势在于测量大批量小型精密零部件，这对于质量控制和生产流程的优化至关重要。 图像尺寸测量仪适用于哪些零部件？ 1、图像尺寸测量仪适用于各类机械零部件。 采用机器视觉技术，结合高精度图像分析算法，并融入一键闪测原理。 不管是金属制品还是塑料制品，无论是复杂的结构零部件还是简单的连接件，VX系列图像尺寸测量仪只需一键即可自动检测并测量出各种零部件的关键尺寸数据。例如，在汽车制造行业中，曲轴、汽缸盖、活塞等零部件的尺寸测量都可以借助图像尺寸测量仪进行，确保产品质量的稳定性。 2、图像尺寸测量仪适用于电子元器件和微型零件的测量。 随着电子技术的高速发展，对电子行业元器件的生产制造要求也越来越高。例如，在手机制造业中，各种微小元器件如电容、电感等都需要进行精确的测量，以确保产品的性能和质量。 而VX系列图像尺寸测量仪能够通过双远心高分辨率光学镜头大口径高景深特点，结合高精度提取算法，对边缘进行亚像素处理，实现全视野范围成像清晰，低畸变，对这些微型零件进行准确的测量，提高了生产效率和产品的一致性。 微电阻测量 3、图像尺寸测量仪还适用于复杂曲面零件的测量。 对于一些表面形状复杂、精度要求较高的零部件，传统的测量方法常常显得力不从心。而VX系列图像尺寸测量仪搭载光学非接触式测头，在CNC模式下，可一键自动完成工件的二维平面尺寸、高度尺寸、平面度等参数的精密快速测量，即一键式2.5D测量。（注：光学非接触测头可选点激光测头和光谱共焦位移测头。）无论是涡轮叶片、航空发动机叶盘等零件，还是各种曲面雕塑品的测量，都能够准确而高效地完成任务。 阶梯型机械零件测量 图像尺寸测量仪适合各类零部件，可用于机械、电子、模具、注塑、五金、橡胶、低压电器、磁性材料、精密冲压、接插件、连接器、端子、手机、家电、印刷电路板、医疗器械、钟表、刀具等领域。无论是机械零件、电子元器件还是复杂曲面零件，VX系列图像尺寸测量仪都能够提供准确、高效的测量解决方案。它实现了对零部件尺寸和形状的自动化测量，为制造行业的质量控制和生产效率提供了有力支持。

发表了主题帖： 大国重器-10米超长高精度激光测长机顺利完成交付验收

长度尺寸是所有几何量尺寸测量的基准，在6米以上长度测量领域，我国一直处于测量精度低、稳定性差、操作复杂、数字化程度低的水平；基于工业4.0及国内测量技术升级的需求，迫切需要自主研发超长高精度长度测量设备，应用于航空航天、船舶制造、机械重工等领域大型装备制造的大尺寸量具量规溯源校准。 大国重器-10米超长高精度激光测长机顺利完成交付验收 在某计量院长度精密实验室现场，一台深圳中图仪器研制的高精度激光测长机架设在实验室中央。该仪器型号为SJ5180-10000，其有效测量尺寸10米，整体长度近12米。该仪器为超长型激光测长机，需要现场组装调试精度及进行设备验收。日前，该测长机已完成现场装调试，并进行了设备的精度功能验收，指标优于设计指标±（0.7+L/1000）μm（L，mm）；仪器实测精度达到±（0.5+L/2000）μm（L，mm）。 对于10米超长、精度设计指标高达0.7μm的激光测长机，深圳中图仪器的研发人员一开始也是心里打鼓；虽然在设计上全面考虑过，但是现场影响精度的因素太多，比如大理石研磨平面度、导轨安装直线度、地基稳定性、现场振动、温度变化、激光稳定性等，任何不稳定因素都可能导致精度无法达到设计指标。 10米超长的测长机，分辨率要达到0.0001mm，全长范围内测量示值误差要在±（0.7+L/1000）μm之内，这对于中图的现场装调技术人员来说，也是一个挑战。他们任劳任怨，加班加点，一遍又一遍对设备进行调试和修正。通过努力，终于完成仪器的安装调试，各项指标及功能均符合双方签订的验收技术条件，并通过客户的正式验收。    

发表了主题帖： 数控机床测头提升新能源汽车部件加工良品率

机床测头是一种可安装在大多数数控机床上，并在加工循环中自动对工件的尺寸及位置进行测量的装置，使用合适的测量程序，还可以根据测量结果实现自动刀路补偿，是生产加工中的重要质量控制手段。 在新能源汽车电池组件加工过程中，PO系列机床测头能够有效提升产品合格率、提高自动化程度，为企业降本增效。 1、新能源汽车电池组件——电池包外壳 客户简介：华南地区某客户，主要生产新能源汽车动力电池组，该产品使用了大型的龙门铣机床，Fanuc/西门子数控系统； 客户痛点：新能源电池包外壳来料厚度、平面高度不均，在大型的龙门铣机床加工时，不能保证产品倒角大小一致和平面高度均匀，导致出现产品过切、加工不到位等问题； 中图仪器方案：引入中图仪器机床测头，实现在机检测：加工前测量工件平面高度，根据工件平面高度误差值，进行Z向刀补自动补偿； 改善效果：自动补偿加工，产品平面高度、倒角大小均匀，提升生产良率、降本增效，提高自动化程度，客户非常满意。 机床测头Z平面测量 2、新能源汽车电池组件——模组铝件 客户简介：西部地区某客户，主要生产锂动力电池结构件，该产品使用了中型CNC加工中心机床，西门子数控系统； 客户痛点：加工新能源电池模组铝件时，由于工件较长，加工摆放的位置有一定的误差，导致加工钻孔出现位置偏差，报废率高； 中图仪器方案：引入中图仪器机床测头，采取零件找正功能，超差防呆并根据工件摆放角度误差值，进行自动补偿加工。 改善效果：采取零件找正功能，快速自动找正工件的加工原点，提高加工精度、自动化程度和生产良率，客户非满意。  

发表了主题帖： 为什么激光共聚焦显微镜成像质量更好？

激光共聚焦显微镜原理是由LED光源发出的光束经过一个多孔盘和物镜后，聚焦到样品表面。之后光束经样品表面反射回测量系统。再次通过MPD上的针孔时，反射光将只保留聚焦的光点。最后，光束经分光片反射后在相机上成像。 为什么激光共聚焦显微镜成像质量更好？ 1、激光共聚焦显微镜采用了激光扫描技术。与传统显微镜的广谱光源相比，激光扫描技术能够精确定位和聚焦在样品的特定区域，从而提高成像的分辨率和准确性。同时，激光扫描技术可以消除样品中的散射和背景信号，从而提高成像的对比度。同时，激光的单色性使得成像更清晰。 2、激光共聚焦显微镜具有较大的光学孔径（显微镜接收到样品发出的光的能力）和高数值孔径物镜（镜头的放大倍数），使成像更清晰细致。 3、激光共聚焦显微镜使用的是探测元件是高灵敏度的光电倍增管，对微弱的荧光信号可以呈现出很高的灵敏度，并且还可以通过缩小激发范围并使用光学切片来消除背景噪声。配备高灵敏度的光电二极管探测器，使得激光共聚焦显微镜能够快速并精确地检测光信号，并将其转换为电信号。 与传统的光学观察不同，光电二极管探测器可以实现单个光子的检测，使得成像更加敏感和准确。这种高灵敏度的探测器在低光强条件下也能够获得清晰的图像。   VT6000激光共聚焦显微镜基于针孔点光源的共轭共焦原理，具有纳米级别的纵向分辨能力，配合高速扫描模块，专业的分析软件具有多区域、自动测量功能，能实现快速自动化测量，并提供高度、宽度和角度等一系列轮廓尺寸参数对表面质量进行表征。 VT6000激光共聚焦显微镜依托弱光信号解析算法可以完整重建出近70°陡峭的复杂的结构形状。如： 1.对太阳能电池片微观结构进行三维形貌重建： 2.快速重建出被测晶圆激光镭射槽的三维轮廓并进行多剖面分析，获取截面的槽道深度与宽度信息： 3.对光学膜表面微结构实现快速自动化测量，提供高度、宽度和角度等一系列轮廓尺寸参数对表面质量进行表征：  

发表了主题帖： 飞拍测量|Novator系列影像仪大幅提升测量效率

目前BGA封装技术已广泛应用于半导体行业，相较于传统的TSOP封装，具有更小体积、更好的散热性能和电性能。 在BGA封装的植球工艺阶段，需要使用到特殊设计的模具，该模具的开窗口是基于所需的实际焊球大小和电路板焊盘尺寸考虑，模具的开窗口大小直接影响到锡球的尺寸，从而影响到最终的焊接效果：若孔径过小形成凹点，会使得芯片与连接它的其它部件之间的接触面积变小，导致信号传输不良、电气性能下降等问题；若孔径过大则会对焊盘产生压力，使锡浆不易流动形成缺陷。因此该模具在使用前需要经过高精度的检测，测量其开窗口大小是否合格，是否有脏污，每一个焊点的位置是否正确。   传统的测量方式针对此类含有小特征多尺寸且无序排列的样品，在创建模板时需要逐个识别提取，消耗测量人员时间精力，整板自动测量时，测量移动次数多，测量过程耗时长，效率低下。   中图仪器Novator系列全自动影像仪，针对此类大尺寸多特征的样品测量，有以下优势： （1）单视场范围大，单视场内一次可完成约200个特征提取，无需多次移动； （2）自动取圆工具，针对无序排列特征，无需测量人员手动逐个特征提取，只需一键框选便可实现自动提取，并可自动标注直径，输出坐标位置； （3）飞拍测量模式，在平台快速移动过程中就完成特征提取，使测量流程更流畅，测量时间更短。测量外形尺寸320mm×160mm，含有25920个圆的模具，仅需耗时5分钟，针对此类特征密集排布型工件，飞拍测量充分发挥其优势，对比传统影像测量仪，测量时长由 1小时缩短至 5 分钟，测量效率提升 10 余倍，且测量精度无损失。 Novator系列全自动影像仪，可有效提升模具测量效率，减少人力资源消耗，为半导体行业降本增效。Novator系列全自动影像仪创新推出的飞拍测量、图像拼接、环光独立升降、图像匹配、无接触3D扫描成像等功能，多方面满足客户测量需求，解决各行业尺寸测量难题。

发表了日志： 白光干涉仪能测透明材料吗？

发表了主题帖： 白光干涉仪能测透明材料吗？

白光干涉仪作为一种常用的光学测量仪器，在材料科学领域中具有重要意义。首先，需要了解什么是白光干涉。白光是由各种波长的光混合而成的，而干涉是波动现象中的一种，常见的干涉现象包括光的干涉条纹、薄膜干涉等。白光干涉就是利用白光的干涉现象来分析材料的性质。   那么，白光干涉仪能否用于测量透明材料呢？答案是肯定的。对于透明材料来说，其特点是能够让光线穿过并且不发生明显的散射。透明材料的光学性质主要包括透射率、折射率、反射率等。白光干涉仪可以利用透明材料的反射、透射等光学特性来实现测量。它在测量透明材料时，一般会使用分束器将光束分为两束，一束垂直入射到待测透明材料表面上，另一束则绕过透明材料后与反射光相交，在干涉屏上产生干涉条纹。通过测量干涉条纹的间距及其变化，可以计算出透明材料的厚度或者折射率。   但需要注意的是，白光干涉仪测量透明材料时，要求透明材料比较薄且平整，以确保光线能够穿过并且不发生明显的散射。其次，干涉仪的分束器、反射镜等元件需要具有较高的光学质量，以保证光线的质量和干涉的清晰度。另外，实验环境也需要尽量减少干扰光源和背景光的干涉影响。   SuperViewW1白光干涉仪基于白光干涉原理，采用扩展型的相移算法EPSI，集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点，单一模式即可适用于从超光滑到粗糙、平面到弧面等各种表面类型，让3D测量变得简单。 在测量透明材料方面的应用非常广泛，如： 1、在玻璃制造过程中，利用白光干涉仪可以实现对玻璃板的表面平整度和厚度的测量。 2、在光学镜片制造中，白光干涉仪可以帮助判断镜片的质量和折射率。 3、用于纳米材料的研究中，通过测量透明纳米薄膜的干涉条纹来获得其厚度和折射率等信息。 白光干涉仪确实可以测量透明材料。它通过分析干涉条纹的形态和变化，可以获得透明材料的厚度、折射率等重要参数。对于材料科学研究和工业生产都具有重要意义。

发表了主题帖： 影像仪飞拍测量功能，大幅提升测量效率

目前BGA封装技术已广泛应用于半导体行业，相较于传统的TSOP封装，具有更小体积、更好的散热性能和电性能。 在BGA封装的植球工艺阶段，需要使用到特殊设计的模具，该模具的开窗口是基于所需的实际焊球大小和电路板焊盘尺寸考虑，模具的开窗口大小直接影响到锡球的尺寸，从而影响到最终的焊接效果：若孔径过小形成凹点，会使得芯与连接它的其它部件之间的接触面积变小，导致信号传输不良、电气性能下降等问题；若孔径过大则会对焊盘产生压力，使锡浆不易流动形成*缺陷。因此该模具在使用前需要经过高精度的检测，测量其开窗口大小是否合格，是否有脏污，每一个焊点的位置是否正确。 传统的测量方式针对此类含有小特征多尺寸且无序排列的样品，在创建模板时需要逐个识别提取，消耗测量人员时间精力，整板自动测量时，测量移动次数多，测量过程耗时长，效率低下。 中图仪器Novator系列全自动影像仪，针对此类大尺寸多特征的样品测量，有以下优势： （1）单视场范围大，单视场内一次可完成约200个特征提取，无需多次移动； （2）自动取圆工具，针对无序排列特征，无需测量人员手动逐个特征提取，只需一键框选便可实现自动提取，并可自动标注直径，输出坐标位置； （3）飞拍测量模式，在平台快速移动过程中就完成特征提取，使测量流程更流畅，测量时间更短。测量外形尺寸320mm×160mm，含有25920个圆的模具，仅需耗时5分钟，针对此类特征密集排布型工件，飞拍测量充分发挥其优势，对比传统影像测量仪，测 量时长由 1小时缩短至 5 分钟，测量效率提升 10 余倍，且测量精度无损失。 Novator系列全自动影像仪，可有效提升模具测量效率，减少人力资源消耗，为半导体行业降本增效。Novator系列全自动影像仪创新推出的飞拍测量、图像拼接、环光独立升降、图像匹配、无接触3D扫描成像等功能，多方面满足客户测量需求，解决各行业尺寸测量难题。

发表了主题帖： 结构深、角度大、反射差？用共聚焦显微镜就对啦！

随着超精密加工技术的不断进步，各种微纳结构元件广泛应用于超材料、微电子、航空航天、环境能源、生物技术等领域。其中超精密3D显微测量技术是提升微纳制造技术发展水平的关键，中图仪器自主研发的白光干涉扫描和共聚焦3D显微形貌检测技术，广泛应用于涉足超精密加工领域的三维形貌检测与表面质量检测方案。其中，VT6000系列共聚焦显微镜，在结构复杂且反射率低的表面3D微观形貌重构与检测方面具有不俗的表现。 一、结构深、角度大 电子产品中一些光学薄膜表面存在一些特殊的微结构，这些结构表现为窄而深的“V形”、“金字塔”。白光干涉仪在测量此类结构时，由于形貌陡峭、角度大，无法形成干涉条纹信号，或条纹宽度过窄而无法准确地解调出深度信息。VT6000系列共聚焦显微镜基于针孔点光源的共轭共焦原理，其依托弱光信号解析算法可以完整重建出近70°陡峭的复杂的结构形状。     二、反射差、信号弱 碳纤维纸类的表面反射率低，结构复杂且呈立体状。白光干涉仪因其对样品表面反射形成的干涉条纹光信号对比度要求较高，而碳纸表面纤维丝的立体角度大，导致部分位置因反射率低形成的干涉条纹对比度较低甚至无法形成干涉条纹，从而难以解调出深度信息。VT6000系列共聚焦显微镜在此展现出其对弱光信号解析能力优势，对样件表面的低反射率特性适应能力更强。 中图仪器以其自主研发的共聚焦显微镜，与早前推出的白光干涉仪一起，构成光学3D显微测量领域的姊妹双姝，为国内超精密加工与微纳制造领域提供专业的3D显微形貌检测方案。   -—————————————— 中图仪器 ——————————————— 是一家专业的几何量测量仪器制造商，旗下有专门的微纳检测仪器事业部，目前有SuperView系列光学3D表面轮廓仪、VT6000系列共聚焦显微镜、CP系列台阶仪等三大类纳米级3D测量产品。凭借着多年在客户端应用场景下的锤炼，在3D显微测量领域积累了丰富的开发与应用经验。多年的自主开发工作，公司在纳米传动与扫描技术、白光干涉与高精度3D重建技术、尼普科夫转盘共聚焦系统、超分辨率电容传感扫描技术、超大区域无缝缝合技术等多个涉及到光、机、电、算交叉学科的领域积累了雄厚的技术实力。参与过多项国家重大科研项目的攻关工作并顺利通过验收。作为一家销售服务网络遍布全国的微纳检测仪器制造商，中图仪器始终致力于为客户提供专业的技术服务和优质的产品解决方案。  

发表了日志： 结构深、角度大、反射差？用共聚焦显微镜就对啦！

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随着超精密加工技术的不断进步，各种微纳结构元件广泛应用于超材料、微电子、航空航天、环境能源、生物技术等领域。其中超精密3D显微测量技术是提升微纳制造技术发展水平的关键，中图仪器自主研发的白光干涉扫描和共聚焦3D显微形貌检测技术，广泛应用于涉足超精密加工领域的三维形貌检测与表面质量检测方案。其中，VT6000系列共聚焦显微镜，在结构复杂且反射率低的表面3D微观形貌重构与检测方面具有不俗的表现。 一、结构深、角度大 电子产品中一些光学薄膜表面存在一些特殊的微结构，这些结构表现为窄而深的“V形”、“金字塔”。白光干涉仪在测量此类结构时，由于形貌陡峭、角度大，无法形成干涉条纹信号，或条纹宽度过窄而无法准确地解调出深度信息。VT6000系列共聚焦显微镜基于针孔点光源的共轭共焦原理，其依托弱光信号解析算法可以完整重建出近70°陡峭的复杂的结构形状。 二、反射差、信号弱 碳纤维纸类的表面反射率低，结构复杂且呈立体状。白光干涉仪因其对样品表面反射形成的干涉条纹光信号对比度要求较高，而碳纸表面纤维丝的立体角度大，导致部分位置因反射率低形成的干涉条纹对比度较低甚至无法形成干涉条纹，从而难以解调出深度信息。VT6000系列共聚焦显微镜在此展现出其对弱光信号解析能力优势，对样件表面的低反射率特性适应能力更强。

发表了日志： 智能轮廓仪一机解决轮廓尺寸+螺纹全参数测量的高效解决方案

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在汽车领域里的空调，发动机，车内循环系统，油料供给和制动系统中，多会引入螺杆类产品，其主要用于紧固密封连接。螺杆制造工艺的好坏直接关系到其部件的性能和使用寿命，因此需要对螺杆的形状和尺寸进行质量管控。 由于螺杆的结构特殊，需要检测紧固件双侧轮廓的基本尺寸、形位公差（例如：同轴度、位置度），来评判是否符合螺杆的加工和磨削要求。同时需测量螺纹的全参数来评判啮合间隙。 根据螺杆测量需求，使用可两轴联动的SJ5780高精度智能螺纹轮廓扫描仪。多功能优势博采众长适用于各种应用场景。可测几何量，复杂工件分段测量，公差设置进行合格判定，可进行CNC批量匹配分析提高测量效率；同时还可测量螺纹，通过双向扫描得到的轮廓信息计算螺纹的中径、大径、小径、螺距、牙型半角等参数。 优势一：双向扫描测量同时分析轮廓尺寸和螺纹全参数，螺杆测量分析。 优势二：自定义分段测量；双向恒测力接触扫描，智能爬坡、陡坡缓降，解决对螺杆复杂轮廓面的智能扫描。 优势三：对同批次复杂工件轮廓进行一键匹配分析轮廓尺寸，提升螺杆的检测效率。 中图仪器SJ5780系列高精度智能螺纹轮廓扫描仪满足螺杆的双侧测量需求，螺纹数据库能直接评定螺纹全参数合格指标。仪器检测报告直观明了，方便对螺杆加工工艺进行调整，加强了品质管控；仪器广泛应用于机械制造行业（如汽配、机加工等）。

发表了日志： 台阶仪(探针式轮廓仪)测膜厚

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台阶仪是干什么的？在太阳能光伏行业能测什么？ 台阶仪是一种常用的膜厚测量仪器，它是利用光学干涉原理，通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度，具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。它可以测量各种材料的膜层厚度，包括金属、陶瓷、塑料等。 太阳能作为应用广、无排放、无噪声的环保能源，在近些年迎来快速发展，而在各类型的太阳能电池及太阳能充电系统中，多会镀一层透明的ITO导电薄膜，其镀膜厚度对电池片的导电性能有着非常重要的影响，因而需要对镀膜厚度进行检测与管控。 由于ITO膜具有一定的透光性，而硅基板具有较强的反射率，会对依赖反射光信号进行图像重建的光学轮廓仪造成信号干扰导致ITO膜厚图像重建失真，因此考虑采用接触式轮廓仪对ITO膜厚进行测量，由于其厚度范围从十几纳米到几百纳米，考虑到测量的同时不损伤样件本身，因而采用具有超微力可调和亚纳米级分辨率的台阶仪最为合适。 CP系列台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪，其采用LVDC电容传感器，具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点使得其在ITO导电薄膜厚度的测量上具有很强的优势。 针对测量ITO导电薄膜的应用场景，CP200台阶仪提供如下便捷功能： 1）结合了360°旋转台的全电动载物台，能够快速定位到测量标志位； 2）对于批量样件，提供自定义多区域测量功能，实现一键多点位测量； 3）提供SPC统计分析功能，直观分析测量数值变化趋势；  

发表了日志： SJ5730粗糙度轮廓仪解决圆柱滚子轴承测量难题

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背景 轴承是支撑制造业发展必不可少的“关节”，是制造业中至关重要的基础零部件。滚道和滚子作为圆柱滚子轴承关键的基础元件,其加工精度及一致性对轴承的性能和寿命起着决定性作用。 测量需求 圆柱滚子轴承由轴承滚道与圆柱滚子等部分组成，通过滚子在轴承滚道的运动完成对应工作。 测量需求主要包括： 1、测量轴承滚道锥面直线度与粗糙度； 2、测量圆柱滚子不同位置的凸度、滚子素线、对称性等。 解决方案 使用SJ5730高精度粗糙度轮廓一体测量仪与配套软件测量轴承滚道，在行业内创新性地实现“一次测量扫描后，在同一个界面显示粗糙度评价结果与轮廓分析结果”。测量圆柱滚子，SJ5730软件新增滚子分析功能，专门针对轴承滚子凸度等参数进行评价分析，如下测量示例： 轴承滚道直线度和粗糙度测量与分析 在同个界面可同时显示直线度与粗糙度参数： 圆柱滚子对数曲线测量与分析 定制夹具放置滚子扫描 圆柱滚子测量分析结果： 总结 SJ5730系列高精度粗糙度轮廓一体测量仪能够满足轴承行业绝大部分测量需求，除了本文提到的圆柱滚子轴承的锥面直线度、粗糙度以及圆柱滚子的凸度分析，也支持其他轴承测量与结果分析。例如内外套圈的密封槽形状（角度、倒角、槽深、槽宽等）；各种滚子轴承的滚子和套圈母线的凸度、角度、曲线；滚针轴承、圆柱滚子轴承、直线轴承的滚动体和套圈的直线度；球轴承沟道与四点接触轴承沟槽曲率半径等测量分析。专业化的软件设计能够让用户轻松使用的同时获得精准的测量数据，为轴承检测行业助力！ SJ5730-100高精度粗糙度轮廓一体测量仪 SJ5730-200高精度粗糙度轮廓一体测量仪

发表了主题帖： 白光干涉仪(光学3D表面轮廓仪)与台阶仪的区别

表面形貌即为表面微观几何形态，不仅对接触零件的机械和物理特性起着决定作用，而且对一些非接触零件的光学和外部特性影响也很大。所以对表面形貌的精准测量能正确地识别出加工过程的变化和缺陷，对研究表面几何特性与使用性能的关系、控制和改进加工方法等都有着显著的意义。 随着微电子技术、光学技术、计算机技术、传感技术、信号分析和处理技术等飞速发展，对表面形貌测量精度不断提高，从微米尺度进入了纳米甚至是亚纳米尺度。台阶仪与白光干涉仪，两者虽然都是表面微观轮廓测量利器，但还是有所不同。 1、测量方式 （1）台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，测量时通过使用2μm半径的金刚石针尖在超精密位移台移动样品时扫描其表面，测针的垂直位移距离被转换为与特征尺寸相匹配的电信号并最终转换为数字点云信号，数据点云信号在分析软件中呈现并使用不同的分析工具来获取相应的台阶高或粗糙度等有关表面质量的数据。 （2）白光干涉仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级非接触式测量的光学检测仪器。它是以白光干涉技术为原理，对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。 2、测量应用 （1）台阶仪主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。 参数测量功能 1）台阶高度：能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料； 2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数； 3）翘曲与形状：能够测量样品表面的2D形状或翘曲，如在半导体晶圆制造过程中，因多层沉积层结构中层间不匹配所产生的翘曲或形状变化，或者类似透镜在内的结构高度和曲率半径。 （2）白光干涉仪也可以测量台阶高，但更多的是测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。特别是能满足超光滑表面所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求。 白光干涉仪与台阶仪相比具有以下优点： 一是非接触高精密测量，不会划伤甚至破坏工件； 二是测量速度快，不必像探头逐点进行测量； 三是不必作探头半径补正，光点位置就是工件表面测量的位置； 四是对高深宽比的沟槽结构，可以快速而精确的得到理想的测量结果。  

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白光干涉仪又叫做非接触式光学3D表面轮廓仪，是以白光干涉扫描技术为基础研制而成用于样品表面微观形貌检测的精密仪器。它以白光干涉技术为原理，光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光最终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化，能实现表面轮廓的三维重建并可进行轮廓尺寸分析。 白光干涉仪的形貌测量，以表面形貌为主，即工件某一个表面上的微观形貌： 1、微观轮廓尺寸测量：主要是台阶高、槽深之类，涉及到最小纵向10nm量级，在验证上可以与原子力显微镜、台阶仪交叉验证。 2、粗糙度测量：白光测量的粗糙度范围从0.1nm到10μm级别。面和线粗糙度测量，最高可确保0.1nm的测量可靠性，不限制材质和形状。 SuperViewW1白光干涉仪粗糙度RMS重复性0.005nm，利用光波干涉原理 将被测表面的形状误差以干涉条纹图形显示出来，并利用放大倍数高的显微镜将这些干涉条纹的微观部分放大后进行测量，以得出被测表面粗糙度，可以轻松测量曲面粗糙度。 球面镜曲率半径、粗糙度测量 针对叶片类曲面零部件，型号为W3的白光干涉仪能够在空间范围内实现曲面全自动测量功能，解决其形状不规则装夹不便、测量点分布不在同一个面、单次测量效率低的问题。   测量发动机叶片大空间自由曲面